触針式表面形状・粗さ測定器
(Stylus Surface Profiler)

小坂研究所（Kosaka） DSF600(K31)

Fee: 1,500 yen/hour

高さ測定範囲8mm
最大測定距離100mm
Z方向分解能12nm
Measurement range 8mm
Max measuring range 100mm
Z resolution 12nm